RU EN

Электронная промышленность

Полупроводниковый кремний

SEMI MF 1188 «Контроль концентрации междуузельного кислорода в кремнии»

SEMI MF 1391 «Контроль концентрации углерода замещения в кремнии»

SEMI MF 951 «Контроль радиальной неоднородности междуузельного кислорода»

SEMI MF 95 «Контроль толщины эпитаксиальных слоёв кремния в структурах n-n+, p-p+»