Электронная промышленность
Полупроводниковый кремний
SEMI MF 1188 «Контроль концентрации междуузельного кислорода в кремнии»
SEMI MF 1391 «Контроль концентрации углерода замещения в кремнии»
SEMI MF 951 «Контроль радиальной неоднородности междуузельного кислорода»
SEMI MF 95 «Контроль толщины эпитаксиальных слоёв кремния в структурах n-n+, p-p+»