RU EN

SemiSpec

Определение междуузельного кислорода (SEMI MF1188), углерода замещения (SEMI MF1391), толщины эпитаксиального слоя (SEMI MF95), радиальной неоднородности междуузельного кислорода (SEMI MF951), концентрации бора и фосфора в БФСС в кремниевых пластинах и структурах, толщины эпитаксиального слоя в структурах КНС по ИК спектрам.